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單片機(jī)開(kāi)發(fā)公司:ASML支持5nm制程工藝光刻機(jī),將出現(xiàn)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)

更新時(shí)間: 2019-03-22
閱讀量:2620

單片機(jī)開(kāi)發(fā)廠商英銳恩今日帶來(lái)集成電路半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備的相關(guān)新聞。中國(guó)集成電路半導(dǎo)體在設(shè)備方面是相對(duì)欠缺的,設(shè)備大多依靠進(jìn)口(包括光刻機(jī))。荷蘭的ASML阿斯麥公司是全球最大的光刻機(jī)設(shè)備和服務(wù)提供商。1984年ASML阿斯麥從飛利浦獨(dú)立出來(lái),專(zhuān)門(mén)致力于研發(fā)光刻技術(shù),得益于近乎完美的德國(guó)機(jī)械工藝以及世界頂級(jí)光學(xué)廠商德國(guó)蔡司鏡頭,再加上美國(guó)提供的光源,ASML阿斯麥迅速發(fā)展,到如今占到了全球光刻機(jī)總銷(xiāo)售收入的78%。

2018年9月13-14日,第二十一屆中國(guó)集成電路制造年會(huì)在無(wú)錫召開(kāi),全球高端光刻機(jī)壟斷霸主ASML阿斯麥亞太區(qū)技術(shù)營(yíng)銷(xiāo)協(xié)理鄭國(guó)偉介紹,2018年下半年ASML阿斯麥已開(kāi)始出貨最先進(jìn)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)NXT:2000i,符合集成電路制造5nm制程工藝需求。更值得讓人興奮的是,ASML阿斯麥中國(guó)區(qū)總裁沈波在接受采訪時(shí)表示,這臺(tái)ASML阿斯麥最先進(jìn)的設(shè)備也將很快在中國(guó)市場(chǎng)看到。

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此前曾有消息稱(chēng)ASML阿斯麥?zhǔn)艿较拗茮](méi)有把最好的機(jī)器設(shè)備銷(xiāo)售給中國(guó),對(duì)此,沈波表示,上述說(shuō)法并非事實(shí)。ASML阿斯麥的EUV、NXT:1980等高端設(shè)備均已進(jìn)入中國(guó)。目前ASML阿斯麥最新最先進(jìn)的支撐7nm/5nm制程工藝的NXT:2000i也會(huì)很快在中國(guó)市場(chǎng)看到。

據(jù)統(tǒng)計(jì),2017年全球半導(dǎo)體光刻設(shè)備廠中,ASML阿斯麥以80%以上的市占率穩(wěn)居龍頭,其次是日本廠商尼康(Nikon)和 佳能 (Canon),而在高端極外紫光EUV光刻機(jī)臺(tái)方面,ASML阿斯麥幾乎100%壟斷供應(yīng)。

“如果我們交不出EUV的話,摩爾定律就會(huì)從此停止”,ASML阿斯麥董事長(zhǎng)Peter曾接受媒體采訪時(shí)說(shuō)。摩爾定律演進(jìn)對(duì)設(shè)備廠商提出很大的技術(shù)研發(fā)挑戰(zhàn),巨額的研發(fā)投入已經(jīng)不是一家公司能夠負(fù)擔(dān)。目前, 英特爾 、 臺(tái)積電 、 三星 等ASML阿斯麥所服務(wù)的集成電路制造客戶,已經(jīng)成為ASML阿斯麥的股東,協(xié)助ASML阿斯麥研發(fā)。 摩根大通 最新報(bào)告表示,ASML阿斯麥已經(jīng)確認(rèn)1.5nm制程的發(fā)展性,可支撐摩爾定律延續(xù)至2030年。沈波指出,2018年ASML阿斯麥投入16億歐元研發(fā),占營(yíng)收約15 %。

光刻機(jī)這種高精度光機(jī)一體化設(shè)備,研發(fā)過(guò)程是沒(méi)有什么捷徑可走的,精度只能一步步提升。ASML阿斯麥公司在光刻機(jī)上付出的不僅僅是精力,更是巨額資金的投入。

以上是國(guó)內(nèi)單片機(jī)開(kāi)發(fā)廠商英銳恩帶來(lái)的行業(yè)新聞,單片機(jī)開(kāi)發(fā)廠商英銳恩為國(guó)內(nèi)即將有5nm制程工藝的光刻機(jī)感到開(kāi)心。

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